LGD·연세대, 초미세 포토리소그래피 기술 개발
2022-01-17 23:45:41 원문 2020-02-13 10:02 조회수 354
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(지디넷코리아=양태훈 기자)LG디스플레이는 13일 연세대 신소재공학과 심우영 교수 연구팀이 수행한 포토리소그래피 연구결과가 세계적인 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 게재됐다고 밝혔다.
포토리소그래피는 반도체와 디스플레이를 제조하는 과정에서 원하는 회로를 형성하는 제조공정을 말한다.
연세대 연구팀은 유연하고 투명한 특성을 갖춘 새로운 포토마스크(회로 패턴이 그려진 기판)를 이용해 기존 포토마스크로는 불가능했던 수십 나노미터(nm=10억분의 1미터) 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술 개발에 성공했다.
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