반도체 공정 플라즈마 측정 센서 세계 최초 개발
2021-05-31 15:13:59 원문 2021-05-31 12:00 조회수 509
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[아시아경제 김봉수 기자] 한국표준과학연구원(KRISS)은 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 양을 실시간으로 측정할 수 있는 센서를 세계 최초로 개발했다고 31일 밝혔다. 가동 장비를 멈추지 않고도 사용할 수 있기에 반도체·디스플레이 장비 성능 평가 및 제품 수율 향상에 도움이 될 것으로 기대된다.
이번 기술은 한국 원천 특허 등록을 기반으로 미국·유럽·중국·일본 등 4개국 특허 출원이 완료됐다. KRISS 연구팀은 기기에 센서가 내장된 ‘지능형 식각공정 장비’ 개발을 추진할 예정이다.
반도체 소자의 저전력화, 선...
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